کاربر عزیز خوش آمدید
آزمون لیتوگرافی نوری
اتاق تمیز میکرو/نانوفب ( Micro/nanofab Clean room )
آزمون لیتوگرافی نوری
-
دستگاه دستگاه تنظیم ماسک
برای ساخت و انداختن طرح و الگو رویبخش‌هایی از یک فیلم نازک یا سطح یک ویفر استفاده می‌شود که دارای سیستم نوردهی UV هم تراز و موازی آرایه‌ای و سیستم Motorized نیمه اتوماتیک می‌باشد.
امکان ماسک‌گذاری، الگواندازی و نوردهی فرابنفش زیرلایه و ماسک به صورت نیمه اتوماتیک با دقت یک میکرون، حرکت در محور XYZ،
استاندارد ETC 3010
استاندارد آزمون فوتولیتوگرافی ( Photolithography Test Standard )
نمونه اتاق تمیز ممز
پارامتر (ها)
1
خدمات پایه ( Basic Services )
(ريال)
